Katalog Armaturen für Reinstgase - Hornung GmbH Seite 177

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Verarbeitungsvorschriften Rathenaustraße 55 63263 Neu Isenburg Phone 49 6102 7883 70 Fax 49 6102 7883 40 www hornung org info hornung org Für Technische Gase mit Grundqualitäten bis 4 0 99 99 Vol Rohrleitungen aus Kupfer hartgelötet und verschraubt Armaturen aus Messing ohne besondere Reinheitsanforderungen Für Reinstgase mit einer Qualität von 5 0 99 999 Vol Rohrleitungen aus Kupfer spezialgereinigt öl und fettfrei flußmittelfrei hartgelötet oder Edelstahlrohre orbitalgeschweisst Armaturen aus Messing Edelstahl mit Metallmembran oder Faltenbalgabdichtung Für ECD Qualität und Gase mit Reinheiten bis 6 0 99 9999 Vol sowie korrosive Gase Rohrleitungen aus Edelstahlrohr spezialgereinigt z B TCC Qualität orbitalgeschweisst Armaturen aus Edelstahl mit Metallmembran oder Faltenbalgabdichtung Einsatz von metallisch dichtenden VCRVerschraubungen Reinigung mit FCKW freiem Reinigungsmittel ggf im Trockenofen nachbehandelt und luftdicht verpackt alle Öffnungen verschlossen Für Reinheitsklasse ab 6 0 stark korrosive Gase bzw Halbleiterprozessgase Rohrleitungen z B Qualität Ultron orbitalgeschweisst ultra high purity Armaturen aus spezifizierten Edelstählen elektropoliert mit definier ten Oberflächengüten werkstoffbezogener Edelstahl Hastelloy Elgiloy Metallmembrane und VCR Verschraubungen im Reinraum montiert partikelkontrolliert staub und luftdicht verpackt alle Öffnungen metallisch verschlossen AUSFÜHRUNGSEMPFEHLUNGEN FÜR KOMPONENTEN IN VERSORGUNGSSYSTEMEN Qualitätsanalyse vor der Installation unter anderem die Lagerung der Materialien auf der Baustelle in einem staubkontrollierten Raum Visuelle Prüfung der Bauteile auf verkratzt verbogen eingedrückt nicht mit Kappen verschlossen ohne Schutzfolie nicht ausreichend gekennzeich net Beiz und Polierfehler Verfärbung sichtbare Feuchtigkeit oder Partikel Schweißarbeiten mittels WIG Verfahren mit Orbital Schweissautomaten ohne Schweisszusatz mit gekammerter Zange Gültige Verfahrensprü fung gemäß Anforderung AD Merkblatt HP 2 1 und DIN EN 288 3 Gültige Eignungsprüfung für das Schweisspersonal notwendig Schweiss proben sind vor Montagebeginn bei Wechsel des Rohrdurchmessers bei Maschinenwechsel und bei Wechsel des Schweisspersonals vorzunehmen Kupfer Kupfer Lötverbindungen für Reinstgasanlagen sind ausschliesslich flussmittelfrei auszuführen Vor und während des Lötens ist durch Formieren das Eintreten durch Luft auszuschliessen Lösbaren Verbindungen werden mit Klemmringverschraubungen verbunden Für Edelstahlrohrverbindungen werden bei erhöhten Anforderun gen VCR Verschraubungen eingesetzt z B bei stark korrosiven oder hochreinen Gasen Spülen und Konservieren des Versorgungssystems während Stillständen oder Unterbrechungen und nach Fertigstellung ist zur Aufrechterhaltung des geforderten Qualitätsstandards erforderlich Im Anschluss an die Montage sind ein Drucktest mit Stickstoff nach UVV VBG 61 62 ein Helium Lecktest und eine Funktionsprüfung durchzu führen und die Aufzeichnungen zu protokollieren


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